干式真空泵特點分析
近年來，干式機械真空泵得到迅速的發(fā)展，國外多家大真空公司都研制出了新型的干式械真空泵。國內(nèi)的許多單位也一直在進行干式機械真空泵的開發(fā)研制工作，如東北大學(xué)、沈陽真空技術(shù)研究所、上海真空泵廠等。目前，干式機械真空泵主要分為接觸型及非接觸型。接觸型的干式泵有葉片式、凸輪式、往復(fù)活塞式、膜片式等，這類泵的速度較低，適用于小容量高壓縮比 ( 單級壓縮比 ) 。非接觸型的干式泵有羅茨型、爪型、螺桿型、渦旋型等，其速度較高，適用大容量，低壓縮比 ( 指單級壓縮比 ) 。不同類型的干式泵具有各自的特點。使用時可根據(jù)不同的用途加以選擇。
無油干式真空泵的特點：
1、在使用真空，排氣的場合也不含有油份，不會像油式真空泵那樣對作業(yè)環(huán)境或制品造成污染，能夠在各個領(lǐng)域使用。
2、與油式真空泵相比，不需要給泵加油，基本不需要點檢和檢修。
3、運費聲音低，使用壽命長。同時裝備有真空壓力表，調(diào)壓控制器。
4、由于使用了特殊的自潤滑碳精片，具有很強的耐磨性。
5、由于能夠高速運轉(zhuǎn)，因此可以與電機直連。這樣可使泵小型化。
6、由于多枚滑片的高速回轉(zhuǎn)，可使脈動很小，吸排氣穩(wěn)定。
目前，真空行業(yè)使用的大多數(shù)機械真空泵都是用油、水或其它聚合物等流體充當(dāng)泵的工作介質(zhì)，在泵內(nèi)起冷卻、密封、潤滑等多種作用。隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展以及真空應(yīng)用領(lǐng)域的擴大，原有的機械真空泵及其組成的抽氣系統(tǒng)出現(xiàn)了兩個急需解決問題：一是泵的工作介質(zhì)返流污染被抽容器，而這種返流在許多情況下影響產(chǎn)品的質(zhì)量、數(shù)量，增加設(shè)備的維護成本。其次，由于某些工藝過程中的反應(yīng)物質(zhì)使真空泵內(nèi)的介質(zhì)嚴(yán)重變質(zhì)，使泵不能正常工作。
對于普通的無油真空系統(tǒng)來說，雖然可用油封式真空泵加上冷阱或吸附阱之類附件來防止返流，但不能徹底解決問題，而且使系統(tǒng)顯得復(fù)雜。而使用適當(dāng)型式的干式機械真空泵，則可以達到理想的使用效果。
干式機械真空泵的應(yīng)用是廣泛的，主要有以下幾個方面：
1) 低壓化學(xué)氣相沉積中的多晶硅制備工藝中；
2) 半導(dǎo)體刻蝕工藝。在這些生產(chǎn)工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒；
3) 除半導(dǎo)體工藝外的某些產(chǎn)生微粒的工藝，不希望微粒混入泵油中，而希望微粒排出泵外，則用一定型式的干式機械真空泵可以滿足要求；4) 在化學(xué)工業(yè)、醫(yī)藥工業(yè)、食品工業(yè)中的蒸餾、干燥、脫泡、包裝等，要防止有機溶劑造成污染，適合用干式真空泵；
5) 用做一般無油清潔真空系統(tǒng)的前級泵，以防止油污染。
在醫(yī)藥化工生產(chǎn)過程中，涉及大量的真空分離過程，如有機溶媒的真空粗回收或低真空回收、高沸點熱敏性物料的高真空蒸餾、去除固體雜質(zhì)的真空過濾、粉狀中間體或產(chǎn)品的真空干燥等，均要用到真空獲得設(shè)備-真空泵。真空泵的合理選擇和配置對真空分離過程的優(yōu)化具有至關(guān)重要的意義。隨著GMP和ISO14001環(huán)境管理體系及OHSAS18001職業(yè)健康安全管理體系的推進實施，高效、節(jié)能、降耗、安全、環(huán)保在醫(yī)藥化工生產(chǎn)中已成為主旋律，與此相適應(yīng)，醫(yī)藥化工領(lǐng)域的設(shè)備選擇和配置也面臨著新的更高的要求。本文著重就無油真空泵在醫(yī)藥化工清潔生產(chǎn)中的實踐應(yīng)用作一粗淺的闡述。
